Service事業内容
真空装置の設計
・製作・改造・移設
スリーエスでは、真空ポンプのメンテナンス・修理に限らず、真空装置の設計・製作・改造・移設も丁寧に対応しております。
2D・3D-CADによる
機械設計
当社の製品はオーダーメイドが基本で、大企業の研究所または大学、官公庁の研究室に収める真空関連装置、部品を2D-CAD/3D-CADを使って設計・製図します。
お客様の求める仕様や機能をヒアリングのうえ、図面や加工方法の打ち合わを重ね、最適な設計を行います。ただ、常にゼロからの設計をするというわけではなく、過去の類似製品の設計を参考にするなど、長年蓄積してきた設計ノウハウを有効に活用します。
真空配管・
真空チャンバーの
真空配管・
真空チャンバーの
当社では、真空配管および真空チャンバーの設計・製作を行っております。配管のレイアウト変更やチャンバーの更新など、ご希望がございましたら、図面やポンチ図をお送りいただければ、お見積もりさせていただきます。
また、各種真空フランジやガスケットも取り扱っておりますので、お気軽にご相談ください。
真空装置の
移設・撤去
当社では、工場の移転やレイアウト変更、および設備の入替に関連して、真空装置の移設・撤去工事を実施しております。移設後には、ヘリウムリークディテクタを使用して真空漏れ試験や動作確認も行うことができます。
また、真空ポンプの機種変更などに伴う配管のリニューアルも実施しております。解体撤去の場合には、契約産廃業者と協力し、廃棄処理まで責任を持って行うことも可能です。
真空ポンプ/機器の修理・メンテナンス・オーバーホール
スリーエスでは、真空ポンプのメンテナンス・修理に限らず、真空装置の設計・製作・改造・移設も丁寧に対応しております。
真空ポンプの修理・メンテナンス
真空ポンプは様々な生産設備で利用されますが、故障を予防し性能を維持するには定期的なメンテナンスが重要です。真空装置は複数のメーカーの真空ポンプや真空機器で構成されていることが少なくありませんが、一般的にメーカーのサポート範囲は自社製品に限定されます。
当社では国内外を問わず数多くのメーカーの真空ポンプに対応しています。また引取り修理だけでなく、出張修理も提供しています。
安定稼動を約束するオーバーホール
過去の修理対応例
（取引先：大学・研究機関・一般企業など）
- 各社ロータリーポンプのオーバーホール
- ターボ分子ポンプのオーバーホール
- 3世代前のTMPコントローラの修理
- スクロールポンプのオーバーホール（チップシール及びベアリング交換）
- ALDプロセス用ドライ真空ポンプのオーバーホール
- クライオポンプの現地オーバーホール及びクライオコンプレッサーのアドソーバ交換
- ヘリウムリークディテクタの修理
- バタフライバルブ、アングルバルブの弁体Oリング交換による内部リーク解消
- 電極部品に付着した成膜物の除去作業
- ねじ頭が潰れて分解ができなくなった装置構成部品の修理
- その他、真空装置及び真空機器の不具合に関する案件多数